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Analyse du vide par spectrométrie de masse quadripolaire

RESPONSABLE

Bruno MERCIER

Ingénieur de recherche

UMR 8607

LIEU

ORSAY (91)

ORGANISATION

2 jours
De 4 à 8 stagiaires
TP en sous-groupes de 4 stagiaires maximum avec 1 intervenant par sous-groupe

COÛT PÉDAGOGIQUE

800 Euros

A L'ISSUE DE LA FORMATION

Evaluation de la formation par les stagiaires
Envoi d'une attestation de formation

DATE DU STAGE

19281 : du mardi 26/03/2019 au mercredi 27/03/2019

Janvier Février Mars
19281
Avril
Mai Juin Juillet Août
Sept. Oct. Nov. Déc.

OBJECTIFS

- Acquérir les bases de la physique de l'ionisation des gaz
- Acquérir les connaissances sur la spectrométrie de masse quadripolaire appliquée à l'analyse des gaz (principe et fonctionnement : source d'ions, filtre quadripolaire, détection et comptage)
- Etre capable d'analyser les gaz : identification des pics d'ions moléculaires, de fragmentations et multichargés dans les spectres de masse

PUBLICS

Techniciens, ingénieurs, chercheurs ayant besoin de qualifier l'atmosphère résiduelle de leur installation de vide par spectrométrie de masse quadripolaire

Prérequis : niveau Bac scientifique minimum

PROGRAMME

1er jour
- Introduction : notion de masse et processus d'ionisation et de fragmentation
- L'analyseur de gaz résiduel (RGA ) :
. les sources / l'extraction
. la filtration
. l'amplification / la détection
- Interprétation :
. qualitative
. quantitative (détermination de pressions partielles)
. exemples
- Ligne d'introduction des gaz : conductances et compositions gazeuses
2ème jour
- Paramétrage des spectromètres :
. réglage de la résolution, de la vitesse de scan...
. réglage de l'alignement des pics
. variation de l'énergie des électrons, des ions
. variations de la tension des multiplicateurs d'électrons
- Etalonnage et analyses :
. étalonnage du spectromètre de masse pour plusieurs gaz (mesure de la sensibilité)
. analyses qualitatives pour des mélanges de gaz (interprétation des spectres)
. analyses quantitatives pour des mélanges de gaz (calculs des pressions partielles)
Alternance de cours (50 %) et de travaux pratiques (50 %)

EQUIPEMENT

3 spectromètres de masse quadripolaires (1 Prismaplus200 et 2 QMG422 - Pfeiffer)

INTERVENANTS

B. Mercier (ingénieur) et F. Letellier (assistant ingénieur)

Formation organisée dans le cadre du réseau des technologies du vide de la mission pour l'interdisciplinarité du CNRS
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