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Interactions plasma / surfaces : utilisation des plasmas froids pour le traitement de surfaces

Environnement scientifique et technique de la formation

Laboratoire de physique subatomique et cosmologie - UMR 5821

RESPONSABLE

Stéphane BECHU

Directeur de recherche

UMR 5821

LIEU

GRENOBLE (38)

ORGANISATION

3,5 jours
De 6 à 18 stagiaires
TP en sous-groupes de 6 stagiaires maximum avec un intervenant par sous-groupe

COÛT PÉDAGOGIQUE

1700 Euros

A L'ISSUE DE LA FORMATION

Evaluation de la formation par les stagiaires
Envoi d'une attestation de formation

DATE DU STAGE

19408 : du mardi 05/11/2019 au vendredi 08/11/2019

Janvier Février Mars Avril
Mai Juin Juillet Août
Sept. Oct. Nov.
19408
Déc.

OBJECTIFS

- Connaitre les mécanismes de base de création d'un plasma froid
- Savoir utiliser des dispositifs optique et électrostatique de caractérisation
- Acquérir les bases des procédés de dépôts par voie chimique (CVD) et physique (PVD)
- Appréhender les mécanismes de gravure de couches minces par plasmas
- Connaître les principaux types de réacteurs plasma, radiofréquence et micro-onde

PUBLIC

Techniciens supérieurs, ingénieurs, chercheurs

PRÉREQUIS

Notions de base en physique (niveau Bac + 2 minimum)

PROGRAMME

- Bases théoriques des plasmas
- Production de plasmas froids
- Diagnostics optiques des plasmas
- Procédés de pulvérisation et caractérisation des couches minces obtenues
- Fonctionnement d'un réacteur RF (13.56 MHz) (TP)
- Plasmas et croissance de films minces
- Introduction aux mécanismes de gravure
- Utilisation des sondes de Langmuir (TP)
- Utilisation de l'actinométrie pour la caractérisation d'un plasma (TP)
- Traitements de surfaces des polymères et dépôts de couches minces organiques par plasma

Alternance de cours (14 h) et de travaux dirigés pratiques (12 h)

EQUIPEMENT

Dispositif de mesure par sonde électrostatique (de Langmuir) ; spectromètre optique de haute résolution (Jobin-Yvon FHR1000) ; dispositif interférentiel de mesure d'épaisseur ; réacteur plasma ECR (2,45 GHz) ; réacteur R.F. (13,56 MHz)

INTERVENANTS

S. Béchu, G. Henrion (chercheurs), M. Bonvalot, T. Tillocher, J. Pulpytel (maîtres de conférences), A. Bès et F. Silva (ingénieurs de recherche)

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